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等离子清洗机V1000 1000X 1000XS雅马拓

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  • 产品说明
型号V1000V1000XV1000XS
等离子模式DP/RIE
高频电源13.56MHz
输出功率Max1000WMax1000 & 1500W
有效电极尺寸W280×D280mmW300×D300mmW400×D375mm
电极平行平板2段电极（独立）平板（多目的）
反应气体聚合控制器2系统（填充气路另行安装）
真空泵（标配）约1000L/min约1500L/min1000 & 1500L/min
安全装置门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等

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