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PDC200 210 510 等离子清洗机 雅马拓

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  • 产品说明
型号PDC200PDC210PDC510
等离子模式RIE（DP模式选配）RIE/DP
电极构造平行平板（固定）
高频输出Max300WMax500W
频率13.56MHz
控制·显示液晶触摸屏
反应室尺寸W400×D250×H150mmW500×D300×H200mm
电极尺寸W250×D170mmW400×D200mm
反应室材质铝
反应气体2系统（Ar、O2）
填充气体N2或干燥空气
反应气体流量控制流量计聚合控制器
真空泵另行选配油泵（约345L/分）标配油泵（约500L/分）标配
气体导入口反应气体2个、填充气体1个
外形尺寸W540×D600×H600mmW540×D600×H600mmW700×D700×H1285mm
重量约100kg约105kg约180kg
电源单相 AC100V 10A三相AC200V 6A三相AC200V 8A

雅马拓授权_水印版.jpg

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