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PDC610等离子清洗机 雅马拓

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  • 产品说明
型号PDC610
等离子模式RIE/DP（固定模式）
电极构造3段独立平行平板（固定）
高频输出Max600W
频率13.56MHz
控制·显示方式PLC·触摸屏
反应腔尺寸W350×D270×H300mm
反应腔材质A5052
反应气体2系统（Ar、O2）
填充气体N2或干燥空气
真空泵油泵（约345L/分）·标配
外形尺寸W600×D722×H700mm
外装材质不锈钢
电源3 相 AC200 50/60Hz 15A

雅马拓授权_水印版.jpg

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