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PiPi小型等离子装置 雅马拓

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型号PM100
等离子方式RIE模式
电极构造平行平板式
高频输出Max200W
频率13.56MHz
电极尺寸W130×D130mm
外形尺寸W438×D520×H565mm
反应气体Ar
填充气体N2或干燥空气
反应气体流量计流量计
控制方式程序控制
电源单相100V
真空泵(选配)油泵 135L/min(50Hz)

雅马拓授权_水印版.jpg

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